行业领域：制造业 —— 化学纤维制造业

专利信息： 非专利技术

成熟度： 正在研发

技术合作方式： 完全转让

技术推广方式： 正在技术推广

技术交易价格： 面议

联系人：方女士

联系方式：13957007799

技术成果发布数：290

邮箱：sckjdsc@163.com

成果内容简介

       本发明提供一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜的制备方法，采用的膜层序列为Sub/CrNx/Ag/CrNx/SiOx/Air，制备过程中所有的蒸发源位于镜面上方，逆向热蒸发；承载铬(Cr)材料的主要部件为钨杆，承载银(Ag)材料的主要部件为钨丝环，保护膜材料为一氧化硅(SiO)，装载于钽蒸发舟中；在氮气(N2)环境中蒸发 Cr 形成 CrNx，在氧气(O2)环境中蒸发 SiO 形成 SiOx。本发明具有工艺简单、操作方便、设备与材料成本低的优点，能够规避大型光学元件翻面带来的风险。
      该成果的优点：提供一种逆向电阻热蒸发银反射膜加介质保护膜层的方法，设备要求与投入成本低，镀银蒸发舟结构简单、成本低廉，能够实现安全、可控、高速率地逆向热蒸发银反射膜，可广泛应用于大口径光学元件领域，规避由于翻面和长时间吊挂镀膜造成面形变化带来的风险。