行业领域：科学研究和技术服务业 —— 研究和试验发展

专利类型： 发明专利

专利信息： 专利技术

专利号： CN201520385321.8

成熟度： 通过小试

技术合作方式： 其他

技术推广方式： 正在技术推广

技术交易价格： 面议

联系人：吴妍甦

联系方式：13735242950

技术成果发布数：35

邮箱：ghzhyhx@163.com

成果内容简介

本实用新型公开了一种半导体薄膜材料的实时质量检测系统，其主要利用半导体薄膜材料的发光原理检测材料的内部缺陷、带隙结构以及组分均匀性等材料特点。该检测系统包括：激光光源系统，用以提供设定波长的激光光束照射待检测半导体薄膜；光信号接收系统，包括：光信号接收装置，用以采集待检测薄膜被所述激光光束激发而发出的激发光线，并输出对应检测信号，以及，信号显示处理装置，用以接收、处理和显示该检测信号；该光信号接收装置与信号显示处理装置连接。
  

转化应用前景

本实用新型结构简单，易于操作，并可以实时在线进行常温发光半导体材料的质量检测，进而可以通过检测 结果而适时调节生长条件并获得目标半导体材料，且在一定程度上降低生长所需成本。