行业领域：制造业 —— 其他制造业

专利信息： 非专利技术

成熟度： 已有样品

技术合作方式： 完全转让 许可转让

技术推广方式： 正在技术推广

技术交易价格： 面议

联系人：方志仙

联系方式：13957007799

技术成果发布数：1481

邮箱：794379728@qq.com

适用范围

该成果用于光刻技术领域的激光直写设备。    

成果内容简介

      现有技术的问题：在超高光刻分辨力的条件下，如何增大焦深，已成为这种光刻方法的关键问题。
      本发明提供了一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛，光子筛采用扇形分区结构， 即按照一定的张角将光子筛等分为 Max 个扇区，分区原则为其中 Max 为总扇区数；为光子筛扇形分区的张角；的选取应能保证 Max 为整数，扇区标示按照极坐标的方式确定，即张角为的扇区为 1 号扇区，张角为的扇区为 2 号扇区，一直到张角为的扇区为 Max 号扇区，所述的各扇区对应各自焦距 f1，f2，…fm…fMax，m 是大于等于 1 并小于等于 Max 的整数，依据每个扇区采用光子筛的设计方法，获得各扇区内光子筛小孔的大小及位置。
      本发明在不降低光子筛分辨力和提高加工难度的情况下，本设计方法，可以有效的增大焦深，为光子筛直写光刻的实施奠定基础。