行业领域：采矿业 —— 开采辅助活动

专利信息： 非专利技术

成熟度： 可以量产

技术合作方式： 完全转让

技术推广方式： 正在技术推广

技术交易价格： 面议

联系人：赵杰

联系方式：15267540066

技术成果发布数：1226

邮箱：zhaojie@doctortech.com.cn

成果内容简介

本发明公开了一种微纳深沟槽结构在线测量方法及装置。其方 法是将线偏振红外光束投射到含有深沟槽结构的样件表面，对沟槽结构各界面反射光形成的干涉信号进行滤波等处理得到测量反射光谱；采用基于偏振的等效介质理论构建该深沟槽结构等效光学模型，计算其理论反射光谱；采用人工神经网络结合局部搜索算法的快速参数提取方法，通过理论反射光谱拟合测量反射光谱，快速提取沟槽的宽度和深度，实现深沟槽几何形貌参数的精确在线测量。装置包括红外光 源，红外偏振片，干涉仪，平面反射镜和二个离轴抛物镜以及红外探测器。装置可实现场效应管和动态随机存储器中高深宽比深沟槽结构加工过程深度及宽度的在线测量，具有非破坏性，快速和低成本的特点。