行业领域：制造业 —— 通用设备制造业

专利类型： 发明专利

专利信息： 专利技术

专利号： CN201510603240.5

成熟度： 可以量产

技术合作方式： 其他

技术推广方式： 正在技术推广

技术交易价格： 面议

联系人：杜颖楚

联系方式：18072238605

技术成果发布数：1193

邮箱：249870833@qq.com

成果内容简介

本发明公开的一种波状PIN电光调制器结构，包括有N-Sub型衬底，N-Sub型衬底的上部设置有SiO2埋层，SiO2埋层上部的两侧各设置分别设置有波状P+阱区、波状N+阱区，SiO2埋层上部的波状P+阱区、波状N+阱区之间设置有本征N型调制区，波状P+阱区的上部配设有第一电极，波状N+阱区的上部配设有第二电极，第一电极、本征N型调制区及第二电极的上部覆盖有SiO2覆盖层。本发明的波状PIN电光调制器结构，不仅有效降低PIN电光调制器的发热，抑制热光效应对PIN电光调制器的影响，还能高载流子注入，增强等离子色散效应。