行业领域：制造业 —— 电气机械和器材制造业

专利信息： 非专利技术

成熟度： 通过中试

技术合作方式： 完全转让 许可转让 技术入股 合作生产 其他

技术推广方式： 正在技术推广

技术交易价格： 面议

联系人：朱琦瑛

联系方式：18367522855

技术成果发布数：762

邮箱：1027539047@qq.com

成果内容简介

      传统上多采用 Ni/Au 金属作为 LED 的电极，降低出光效率，因此，需要采用透明电极。针对 LED 对透明电极的要求，利用磁控溅射法在玻璃衬底上设计不同气氛、衬底温度、工作气压、溅射功率、靶距、溅射时间等参数下的实验制备 CIO 和 ZAO 薄膜，探寻制备两类薄膜的合适的工艺条件；并研究了退火处理对制备薄膜的结构和性能的影响。制备出高质量、高性能的 CIO 和 ZAO 薄膜，发现薄膜的透光率均在 80%以上，甚至可高达 91％，电阻率达到 10－3Ω.cm 数量级或更低，达到了 LED 用透明电极薄膜材料的性能要求。获得重庆市科技进步三等奖。