行业领域：制造业 —— 其他制造业

专利信息： 非专利技术

成熟度： 通过小试

技术合作方式： 完全转让 许可转让 合作生产

技术推广方式： 正在技术推广

技术交易价格： 面议

联系人：黄昺昺

联系方式：0579-85816288

技术成果发布数：916

邮箱：siteyiwu@163.com

成果内容简介

本成果是一种机械、光学结构科学合理，控制方案简便易行的四自由度XY振镜扫描装置及控制方法。本成果的技术方案：开始激光束扫描前，扫描控制器先根据加工任务确定完整扫描路径，并以给定扫描速度为前提，采用滤波器或频谱分析算法将完整扫描路径分解为：直流及低频分量即完整扫描路径中的走势平稳部分，高频分量即反映完整扫描路径中的微结构部分及走势急剧、反复变化部分；进行激光束扫描时，扫描控制器根据直流及低频分量计算X轴振镜反射镜与Y轴振镜反射镜的偏转角度坐标值，并输出驱动X轴振镜反射镜与Y轴振镜反射镜的角度偏转；扫描控制器根据高频分量计算X轴振镜反射镜与Y轴振镜反射镜厚度变化值，并输出电压信号控制反射镜厚度变化。