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微量掺锗直拉硅单晶项目

作者:Admin 发布时间:2021年06月01日16:27:07 722次浏览
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微量掺锗直拉硅单晶项目

行业领域:制造业 —— 医药制造业

专利信息: 非专利技术

成熟度: 通过中试

技术合作方式: 完全转让

技术推广方式: 正在技术推广

技术交易价格: 20万元- 100万元

联系人:吴少杰

联系方式:13777301086

技术成果发布数:2908

邮箱:wlx501@126.com

成果内容简介

本项目在国际上首先提出"有意掺入微量锗杂质来调控直拉硅单晶中缺陷"的新思路,发明了微量掺锗直拉硅单晶及系列技术。其主要创新点如下:(1) 发明了微量掺锗直拉硅单晶,实现了直径150-300 mm掺锗直拉硅单晶的生长。(2) 发明了微量掺锗直拉硅单晶的外延、吸杂等微电子器件相关的技术,实现其在微电子产业中的应用。(3) 发明了微量掺锗直拉硅单晶的低光衰减、薄片化等太阳能电池相关的技术,实现其在光伏产业中的应用。通过掺锗抑制直拉硅单晶中硼-氧复合体的产生,使太阳能电池效率的光衰减降低了13%以上。掺锗提高硅片的机械强度,其碎片率降低约25%。项目获中国发明专利10项,美国发明专利1项,获"第十三届中国专利优秀奖"1项,技术水平国际领先。在SOMAT等国外期刊上发表SCI论文46篇,约占国际同类论文的52%。自2007年以来,项目形成了系列产品,在微电子和光伏产业获得大规模应用。近3年新增微量掺锗直拉硅单晶销售12.1亿元,利税2.02亿元。    

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