行业领域：制造业 —— 金属制品业
专利信息： 非专利技术
成熟度： 正在研发
技术合作方式： 完全转让
技术推广方式： 正在技术推广
技术交易价格： 20万元- 100万元
联系人：吴少杰
联系方式：13777301086
技术成果发布数：1727
邮箱：zhaojie@doctortech.com.cn
成果内容简介
该项目在国家重点支持下，针对极大规模集成电路用硅单晶生长中关键变量的检测与处理、杂质含量与微缺陷抑制、生长工艺与控制方法、整机优化设计与制造等核心技术问题，历经10 年研究，研制成功我国首台极大规模集成电路用300mm 硅单晶炉并形成系列产品，打破了国外产品的垄断和技术封锁，整体性能达到国际先进水平，在非对称CUSP 磁场设计与装置、激光液位检测方法与装置等方面处于国际领先水平。
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