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微型集成式固体电解质环境监测气体传感器

作者:Admin 发布时间:2021年04月08日15:02:29 549次浏览
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微型集成式固体电解质环境监测气体传感器

行业领域:信息传输、软件和信息技术服务业 —— 软件和信息技术服务业

专利信息: 非专利技术

成熟度: 已有样品

技术合作方式: 完全转让

技术推广方式: 正在技术推广

技术交易价格: 面议

联系人:倪培杰

联系方式:18758201364

技术成果发布数:1258

邮箱:nipj@metalab.cn

成果内容简介

随着工业化进程的加速推进,人类社会各方面的发展对化石燃料的消耗与日俱增,而由此产生的大气环境污染问题也愈发严重,对人类的生存和健康、自然生态环境造成极大的损害。基于固体电解质的气体传感器,结合先进的 MEMS 和镀膜技术,对于 CO2、SO2等污染性气体浓度的实时监测、防治十分重要。项目以 Li3PO4、Li3PO4-Li2SiO3薄膜固体电解质薄膜作为导电介质,研制 CO2、SO2等环境监测气体传感器。通过固体电解质薄膜的 CO2、SO2气体传感器的响应原理分析,设计了集成式环境监测气体传感器,选择了合适的反应电极材料,结合 MEMS 薄厚膜工艺,采用热阻蒸发镀膜工艺沉积 Li3PO4固体电解质薄膜,丝网印刷厚膜技术制备反应电极和加热电极,完成了集成式微型 CO2、SO2气体传感器 
的研制、封装、测试,为工业应用奠定了基础。微型气体传感器可实现 CO2和 SO2 气体的高精度监测,并具有体积小、功耗低、成本低的特点。    

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