行业领域：制造业 —— 其他制造业

专利类型： 发明专利

专利信息： 专利技术

专利号： CN201310476509.9

成熟度： 已有样品

技术合作方式： 完全转让 许可转让

技术推广方式： 正在技术推广

技术交易价格： 面议

联系人：方志仙

联系方式：13957007799

技术成果发布数：1670

邮箱：794379728@qq.com

应用行业领域

新材料-纳米材料及应用。    

适用范围

用于制备空间光调制器。    

成果内容简介

本发明公开了一种基于超颖材料结构的空间光调制器及其制备方 法。该空间光调制器包括光功能元件阵列和控制电路，所述光功能元件包含超颖材料结构，所述超颖材料结构至少包括金属纳米结构层和金属反射镜层，所述金属纳米结构层和金属反射镜层之间设有介质层与非金属导电材料层；其制备方法包括：在衬底上制备控制电路，然后制备金属反射镜层、介质层、非金属导电材料层，然后再加工形成金属纳米结构层和透明保护层，并进行电互联。本发明空间光调制器结构简单，集成度高，易于制作，成本低廉，能实现高速调制，调制深度易于调控，并且最低可以将驱动电压控制在 1V以下。