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一种用于激光分子束外延设备中的衬底加热器

作者:Admin 发布时间:2020年09月25日15:40:21 681次浏览
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一种用于激光分子束外延设备中的衬底加热器

行业领域:制造业 —— 电气机械和器材制造业

专利信息: 非专利技术

成熟度: 可以量产

技术合作方式: 完全转让 许可转让 技术入股 合作生产

技术推广方式: 正在技术推广

技术交易价格: 面议

联系人:卓祖浩

联系方式:15258600952

技术成果发布数:2643

邮箱:1522003647@qq.com

成果内容简介

本发明涉及用于激光分子束外延设备的衬底加热器包括炉盘,在炉盘底上开有至少2个固定孔,固定孔中穿入螺钉,该螺钉在漏出底座上的一段上套有垫片或螺母,在其上放上隔热板和垫片或螺母;炉丝板2两端有通孔,和板面上开有螺旋槽,螺旋槽内缠绕炉丝;压片压放在缠绕好炉丝上面,压片两端也有通孔,其通孔的位置与炉丝板上通孔的位置相对应,通过螺母将压片、炉丝板、隔热板固定在炉盘上;在炉盘和隔热板的对称位置上各打2个圆孔,作为炉丝的炉丝引线的孔,炉丝引线与炉丝和加热器的电源电连接。加热器的电源选用低纹波的直流稳压电源,炉丝采用扁螺旋形绕制和选用低纹波的直流稳压电源,消除了炉丝电流产生磁场对RHEED的影响。    

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