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物理气相沉积用于稀土永磁材料防护规模化工艺及设备开发

作者:Admin 发布时间:2020年08月17日11:19:40 726次浏览
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物理气相沉积用于稀土永磁材料防护规模化工艺及设备开发

行业领域:科学研究和技术服务业 —— 研究和试验发展

专利类型: 发明专利

专利信息: 专利技术

专利号: 200810120013.7

成熟度: 已有样品

技术合作方式: 其他

技术推广方式: 正在技术推广

技术交易价格: 面议

联系人:刘涛

联系方式:0574-86685173

技术成果发布数:1828

邮箱:liutao@nimte.ac.cn

成果内容简介

一、成果概述、

      烧结NdFeB磁体因其优异的磁性能和高的性价比获得越来越广泛应用。随着其在各类动力电机的应用,需求量还将进一步加速上升。烧结钕铁硼的结构和化学特性决定其耐蚀性较差,使用时须对其表面进行防护处理。

     n 国内常见的工业规模的钕铁硼表面防护处理方法为电镀。烧结钕铁硼的应用场合逐渐从传统的常温、低腐蚀环境向高温、高腐蚀环境发展。特别近年电机的加速发展,内部磁体常会在冷热交变,高腐蚀等工作环境下长期工作,电镀工艺本身也很难满足电机磁体需求的发展。同时,电镀工艺环境保护成本逐年上升,寻找绿色工艺成为必然趋势。

       物理气相沉积镀膜的稳定性和镀层/基体结合力、致密度、防腐能力等方面均比较强。同时,镀层致密均匀,厚度不会因边角而出现变化。薄膜的制备过程中不存在污染问题,十分适合作为绿色生态系统的保护性技术手段,是一种很有前景的防护技术。

二、技术特点

      中国科学院宁波材料技术与工程研究采用物理气相沉积用于NdFeB防护已经做了大量的工作。自行设计了办工业化的磁控溅射系统,有效地解决了磁控溅射沉积过程中的阴影效应,实现了磁体所有外表面均匀镀膜,也可对一定长径比的磁环进行均匀镀膜处理;通过磁控靶设计,显著提高了沉积薄膜速率;采用磁控溅射沉积金属薄膜及多层梯度薄膜用于钕铁硼磁体防护研究取得较好效果。沉积的防护薄膜具有优异的耐候性能,中性盐雾试验大于100小时,并且工艺对磁体磁性能影响小。

   

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