行业领域:科学研究和技术服务业 —— 研究和试验发展
专利类型: 发明专利
专利信息: 专利技术
专利号: CN201310547214.6
成熟度: 通过中试
技术合作方式: 完全转让 许可转让 技术入股 合作生产 其他
技术推广方式: 正在技术推广
技术交易价格: 面议
联系人:吴妍甦
联系方式:13735242950
技术成果发布数:99
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成果内容简介
本发明公开一种基于铁电薄膜的太赫兹调制器及其制作方法。所述太赫兹调制器包括:介质基板,其对太赫兹波具有较高的透过率;多个铁电薄膜单元,阵列排布在所述介质基板上;太赫兹滤波结构,设置在所述介质基板和所述多个铁电薄膜单元上,并且所述太赫兹滤波结构对太赫兹波具有带通滤波效应。本发明充分结合了铁电薄膜的介电常数可高速调制和高 Q 因子的太赫兹滤波结构的优点,在太赫兹滤波结构工作频率下对太赫兹波的幅值进行高速电调制,具有调制速度高和调制深度大等特点,可以弥补现有高速太赫兹调制器性能的不足,且该太赫兹调制器装置操作简单,成本较低,易于集成,在太赫兹通讯和成像等应用方面具有较大的科学研究价值和市场前景。