行业领域：科学研究和技术服务业 —— 研究和试验发展

专利类型： 发明专利

专利信息： 专利技术

专利号： CN201410614079.7

成熟度： 可以量产

技术合作方式： 完全转让 许可转让 技术入股 合作生产 其他

技术推广方式： 正在技术推广

技术交易价格： 面议

联系人：吴妍甦

联系方式：13735242950

技术成果发布数：78

邮箱：ghzhyhx@163.com

成果内容简介

本发明提供一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜的制备方法，采用的膜层序列Sub/CrNx/Ag/CrNx/SiOx/Air，制备过程中所有的蒸发源位于镜面上方，逆向热蒸发；承载铬(Cr)材料的主要部件为钨杆，承载银(Ag)材料的主要部件为钨丝环，保护膜材料为一氧化(SiO)，装载于钽蒸发舟中；在氮气(N2)环境中蒸发Cr 形成 CrNx，在氧气(O2)环境中蒸发 SiO 形成 SiOx。本发明具有工艺简单、操作方便、设备与材料成本低的优点，能够规避大型光学元件翻面带来的风险。