行业领域：制造业 —— 其他制造业

专利信息： 非专利技术

成熟度： 已有样品

技术合作方式： 完全转让 许可转让

技术推广方式： 正在技术推广

技术交易价格： 面议

联系人：方志仙

联系方式：13957007799

技术成果发布数：1527

邮箱：794379728@qq.com

适用范围

应用于微纳尺度材料与结构的透射、反射、吸收等光谱特性的评价。    

成果内容简介

      现有技术的问题：现有技术只能实现样品在某一个方向上的光谱测量，光源相对于样品的入射角度不能调节，探测器相对于样品的接收角度也不能调节。
      本发明提供一种微区光谱测试系统。该测试系统包括入射光路、样品台和接收光路，所 述入射光路包括位于入射光路径中的入射显微物镜，第一光谱测试单元和第一实时观察系统； 所述接收光路包括位于出射光路径中的接收显微物镜，第二光谱测试单元和第二实时观察系 统，该测试系统进一步包括：样品台转动装置，用于调节所述样品台绕垂直于样品台的转轴 转动，和第一光路转动装置，用于调节所述入射光路或接收光路绕所述转轴旋转。本发明的微区光谱测试系统可对微区样品提供入射角度和接收角度可以改变的透射、反射或荧光等多种光谱测试模式。