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金属氧化物薄膜场效应晶体管的制备方法

作者:Admin 发布时间:2020年05月06日16:30:47 859次浏览
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金属氧化物薄膜场效应晶体管的制备方法

行业领域:制造业 —— 金属制品业

专利类型: 发明专利

专利信息: 专利技术

专利号: CN201310040049.5

成熟度: 正在研发

技术合作方式: 完全转让

技术推广方式: 正在技术推广

技术交易价格: 面议

联系人:方女士

联系方式:13957007799

技术成果发布数:97

邮箱:sckjdsc@163.com

成果内容简介

本发明通过气体喷印工艺实现了低成本、纳米尺度高效金属氧化物薄膜场效应晶体管的制作,具有操作简单, 定位准确,应用范围广的优点;无需将固体溶解配成溶液,既可以克服喷墨打印、电纺丝等纳米制造技术中溶液配置带来的困扰,同时又能克服传统 PVD、CVD 和真空蒸镀过程中存在的难分离,无法准确定位的缺点。

   

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