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并行多微通道式层流型止推用气体静压节流器

作者:Admin 发布时间:2020年04月03日15:52:16 758次浏览
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并行多微通道式层流型止推用气体静压节流器

行业领域:制造业 —— 专用设备制造业

专利信息: 非专利技术

成熟度: 可以量产

技术合作方式: 其他

技术推广方式: 正在技术推广

技术交易价格: 面议

联系人:杜颖楚

联系方式:18072238605

技术成果发布数:1268

邮箱:249870833@qq.com

成果内容简介

目前,我国精密制造和微电子行业需要的高端设备较多从发达国家进口,但由于涉及国防军工用途,国外厂商受其政府规定限制,对我国的发展产生严重的制约作用。在超精密设备或仪器中,导轨和轴系是最为关键的基础技术。其中,实现无摩擦润滑首选气体静压润滑技术,是实现纳米级的位移分辨力最为可行的方案。节流器是使外部加压气体进入轴承间隙前,产生节流效果、并形成具有一定承载能力及刚度的稳定润滑气膜的装置。常用的节流方式有小孔式,狭缝式,多孔质等。本成果完成了并行多微通道式层流型止推用气体静压节流器的研制,多微通道式气体静压节流器采用多个微通道进行节流,相比传统的小孔节流器可以有效规划气体流向,减小气膜振动,从而改善气体静压系统刚度和稳定性这一对矛盾。具有很好的应用及产业化前景,可实现良好的经济效益,对我国超精密工程技术领域的进步具有重要意义。本成果已发表相关学术论文5篇,授权专利2项,相关指标已达到国际水平。    

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