行业领域:制造业 —— 通用设备制造业
专利类型: 发明专利
专利信息: 专利技术
专利号: 201510908993.7
成熟度: 已有样品
技术合作方式: 其他
技术推广方式: 正在技术推广
技术交易价格: 面议
联系人:周培武
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技术成果发布数:268
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成果内容简介
本发明提出了一种液动压力、浮力及上浮距离的检测方法,所采用的液动压抛光设备包括抛光盘、容器、滚珠花键轴、动板和侧板,将用于液动压力测量的硅压阻式压力传感器固定在容器底部;用于浮力检测的压电式测力传感器安装在滚珠花键轴的上方;用于检测间隙距离的电感式传感器固定在容器底部;用于检测浮动距离的光栅读数头设置在动板上。本发明在微米级间隙小即实现了压力检测又实现了距离检测;将高速旋转的抛光盘的上浮量检测转化为动板的上浮量检测,减小了抛光盘表面不平整引起的检测误差;分别设置了液动压力、上浮力以及间隙距离和浮动距离的检测,可以通过拟合实验结果进行对比,保证实验的精确性。